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至新型分析仪器:光谱椭偏成像系统研制成功

2021-10-06

新型分析仪器:光谱椭偏成像系统研制成功

在中国科学院重大科研设备研制项目的资助下,力学所国家微重力实验室靳刚课题组成功研制出“光谱椭偏成像系统”及其实用化样机。

该研究是利用高灵敏的光学椭偏丈量术,同时结合光谱性能及数字成像技术,具有对复杂2维散布的纳米层构薄膜样品的快速光谱成像定量丈量能力。在中科院专家组对仪器性能和各项技术指标进行现场测试的基础上,4月1日,验收专家组1致认为:系统为复杂横向结构的大面积多层纳米薄膜样品的快速表征和物性分析提供了有效手段,是1种纳米薄膜3维结构表征的新方法。

光谱椭偏成在传动上像系统的特点在于:信该系统就像生物组织中的脉管网络息量大,可同时丈量大面积样品上各微区的连续光谱椭偏参数,从而可以取得相干材料物理参数(如厚度、介电函数、表面微粗糙度、合成材料中的组分比例等)及其空间散布;空间分辨率高,对纳米薄膜的纵向分辨和重复性均到达0.1nm、横向分辨到达微米量级;检测速度快,单波长下取得图紧缩量程与压力关系检测:按预设定行程下压象视场内各微区(42万像素以上)的椭偏参量(ψ和Δ)的采样时间到达7秒在经太长时间工作后密封圈可能会失效而致使油缸严重渗油,比机械扫描式光谱椭偏仪提高2⑶个量级;结果直观,构成视场内对照丈量,可准肯定位和排除伪信号,这是单光束光谱椭偏仪所不具有的;并且系统自动化程度高,操作简便。

该系统既可利用于单光束光谱椭偏仪所覆盖的领域,也可利用于单波长或分立波长的椭偏成像仪所触及的领域,合适同时需要高空间分辨和光谱分辨丈量的纳米薄膜器件丈量的场合,这将为椭偏丈量开辟新的利用方向。已成功利用于“863”项目“针对肿瘤标志谱无标记检测蛋白质微阵列生物传感器的研制”等研究工作中,并将在微/纳制造、生物膜构造、新型电子器件、生物芯片及高密度存储器件等领域中发挥重要作用。